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原子力顯微鏡光學(xué)一體機(jī) FM-Nanoview Op-AFM

SKU: FM-Nanoview Op-AFM

 

工作模式 接觸模式、輕敲模式 光學(xué)目鏡 10X
選配模式 摩擦力/側(cè)向力、振幅/相位、磁力/靜電力 照明方式 LED柯勒照明系統(tǒng)
力譜曲線 F-Z力曲線、RMS-Z曲線 光學(xué)調(diào)焦 粗微動(dòng)手動(dòng)調(diào)焦
XY掃描范圍 50×50um,可選20×20um,100×100um 攝像頭 500萬像素CMOS傳感器
Z掃描范圍 5um,可選2.5um,10um 顯示屏 10.1寸平板顯示器,帶圖像測(cè)量功能
掃描分辨率 橫向0.2nm,縱向0.05nm 掃描速率 0.6Hz~30Hz
樣品尺寸 Φ≤68mm,H≤20mm 掃描角度 0~360°
樣品臺(tái)行程 25×25mm 運(yùn)行環(huán)境 Windows XP/7/8/10操作系統(tǒng)
光學(xué)物鏡 5X/10X/20X/50X平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡 通信接口 USB2.0/3.0

 應(yīng)用案例 

   GaN襯底掃描范圍3µm×3µm.png      單晶硅金字塔.png  掃描范圍30µm×30µm.png

 

           GaN襯底/掃描范圍3µm×3µm                                              單晶硅金字塔/掃描范圍30µm×30µm

 

    微米光柵.png         MoTe.png    掃描范圍16µm×16µm.png

    微米光柵/掃描范圍30µm×30µm                                                MoTe/掃描范圍16µm×16µm

注意事項(xiàng):
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