服務(wù)總機(jī): | 傳真: | 郵箱: |
聯(lián)系地址:北京通州區(qū)八里橋南街16號(hào)京貿(mào)國(guó)際公寓D座102 |
原子力顯微鏡光學(xué)一體機(jī) FM-Nanoview Op-AFMSKU: FM-Nanoview Op-AFM |
工作模式 | 接觸模式、輕敲模式 | 光學(xué)目鏡 | 10X |
選配模式 | 摩擦力/側(cè)向力、振幅/相位、磁力/靜電力 | 照明方式 | LED柯勒照明系統(tǒng) |
力譜曲線 | F-Z力曲線、RMS-Z曲線 | 光學(xué)調(diào)焦 | 粗微動(dòng)手動(dòng)調(diào)焦 |
XY掃描范圍 | 50×50um,可選20×20um,100×100um | 攝像頭 | 500萬像素CMOS傳感器 |
Z掃描范圍 | 5um,可選2.5um,10um | 顯示屏 | 10.1寸平板顯示器,帶圖像測(cè)量功能 |
掃描分辨率 | 橫向0.2nm,縱向0.05nm | 掃描速率 | 0.6Hz~30Hz |
樣品尺寸 | Φ≤68mm,H≤20mm | 掃描角度 | 0~360° |
樣品臺(tái)行程 | 25×25mm | 運(yùn)行環(huán)境 | Windows XP/7/8/10操作系統(tǒng) |
光學(xué)物鏡 | 5X/10X/20X/50X平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡 | 通信接口 | USB2.0/3.0 |
應(yīng)用案例
GaN襯底/掃描范圍3µm×3µm 單晶硅金字塔/掃描范圍30µm×30µm
微米光柵/掃描范圍30µm×30µm MoTe/掃描范圍16µm×16µm