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原子力顯微鏡(AFM)可以做什么?解讀原子力顯微鏡的用途

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AFM(原子力顯微鏡),提供原子或近原子解析度的表面形貌圖像,能夠定量樣品的表面粗糙度到"Å"等級。除了提供表面圖像之外,AFM也可以提供形態(tài)的定量測量,如高度差和其他尺寸。另外,磁力顯微鏡(MFM)是AFM一種應(yīng)用,能夠繪製樣品的磁域圖。

原子力顯微鏡的應(yīng)用

AFM分析方法應(yīng)用的案例包括:

  • 評估晶片處理前后的差異(SiO2, GaAs, SiGe等)
  • 確定生物醫(yī)學(xué)設(shè)備的處理效果(例如電漿處理),如隱形眼鏡、導(dǎo)管和涂層支架
  • 檢查表面粗糙度對附著力的影響
  • 評估圖案晶圓的溝槽形狀與清潔度
  • 檢查形態(tài)是否是表面陰霾的來源

原子力顯微鏡的應(yīng)用范圍

  • 提供三維表面形態(tài)影像,包括表面粗糙度、粒徑大小、高度差和間距
  • 其他樣品特性的成像,包括磁場、電容、摩擦力和相位

原子力顯微鏡的應(yīng)用行業(yè)

  • 航太工業(yè)
  • 汽車
  • 生物醫(yī)學(xué)/生物技術(shù)
  • 化合物半導(dǎo)體
  • 資料存儲
  • 國防
  • 顯示器
  • 電子領(lǐng)域
  • 工業(yè)產(chǎn)品
  • 照明設(shè)備
  • 製藥
  • 太陽能
  • 聚合物
  • 半導(dǎo)體
  • 光電行業(yè)
  • 電信

產(chǎn)品推薦: FM-Nanoview6800一體式原子力顯微鏡 

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